熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)基于熱擴(kuò)散原理，通過(guò)測(cè)量氣體流經(jīng)加熱傳感器時(shí)帶走的熱量變化直接計(jì)算質(zhì)量流量，無(wú)需溫壓補(bǔ)償。其核心優(yōu)勢(shì)在于對(duì)低流量（如mL/min級(jí)）和微小流量變化的高靈敏度，量程比可達(dá)1000:1，且壓損可忽略，適合小管徑、低流速場(chǎng)景。典型應(yīng)用包括半導(dǎo)體制造中工藝氣體（如氬氣、氦氣）的精準(zhǔn)控制、醫(yī)療設(shè)備（如麻醉機(jī)、制氧機(jī)）的氣體流量監(jiān)測(cè)，以及環(huán)保領(lǐng)域煙道氣排放的CEMS系統(tǒng)（避免差壓式易堵塞問(wèn)題）。此外，其直管段要求低（1-2D）、安裝簡(jiǎn)便（可插入式安裝），且支持?jǐn)?shù)字通信，兼容工業(yè)4.0需求。

　　壓差式氣體質(zhì)量流量計(jì)基于伯努利方程和哈根-泊肅葉定律，通過(guò)節(jié)流裝置（如孔板、V錐）產(chǎn)生壓差，結(jié)合溫度、壓力補(bǔ)償間接推算質(zhì)量流量。其核心優(yōu)勢(shì)在于高精度（±0.5%~1%Rd/S.P.）和寬動(dòng)態(tài)范圍（量程比200:1），適合全量程覆蓋0.5sccm~5000slpm的場(chǎng)景。典型應(yīng)用包括生物反應(yīng)器供氣、滅菌工藝蒸汽流量監(jiān)控等對(duì)精度和重復(fù)性要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域，以及燃料電池氫氣流量控制、工業(yè)廢氣排放監(jiān)測(cè)等高溫、腐蝕性氣體場(chǎng)景。此外，其內(nèi)置多種氣體數(shù)據(jù)庫(kù)，支持混合氣體一鍵切換，且校準(zhǔn)周期長(zhǎng)達(dá)2-3年，維護(hù)成本低。

　　對(duì)比與選型建議：

　　精度與量程：壓差式在低流量（0.5sccm以下）精度更高，全量程覆蓋能力更強(qiáng)；熱式在低流速時(shí)靈敏度占優(yōu)，但量程范圍較窄。

　　介質(zhì)適應(yīng)性：壓差式耐高溫、耐腐蝕，可耐受液體滲入；熱式傳感器接觸液體易損壞，不適用于臟污或高濕度介質(zhì)。

　　響應(yīng)速度與成本：熱式響應(yīng)更快（最快100ms），但長(zhǎng)期穩(wěn)定性受傳感器老化影響；壓差式響應(yīng)時(shí)間≤700ms，但校準(zhǔn)周期長(zhǎng)，長(zhǎng)期成本更低。

　　推薦場(chǎng)景：

　　半導(dǎo)體、醫(yī)療等對(duì)低流量精度要求高的場(chǎng)景，優(yōu)先選熱式；

　　生物制藥、環(huán)保監(jiān)測(cè)等需耐高溫、耐腐蝕或混合氣體測(cè)量的場(chǎng)景，優(yōu)先選壓差式。